高性能氣體質(zhì)量流量控制器
Bronkhorst®FG-201CV型高性能質(zhì)量流量控制器(MFCs)適用于在真空和64 bar之間的工作壓力下精que測量和控制流量范圍在0.14…7毫升/分鐘和0.42 ... 20 ln /分鐘之間的情況。MFC由一個(gè)熱質(zhì)量流量傳感器,一個(gè)精que的控制閥和一個(gè)基于微處理器的印制電路板組成,具有信號和現(xiàn)場總線轉(zhuǎn)換功能。流量控制器根據(jù)設(shè)定值迅速調(diào)整所需流量。
EL-FLOW®Prestige系列配有數(shù)字印刷電路板,可提供高精度,出色的溫度穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。主數(shù)字電路板包含測量和控制所需的所有常規(guī)功能。除了標(biāo)準(zhǔn)的RS232輸出外,儀器還提供模擬I / O。作為一種選擇,可以安裝一個(gè)板上接口來提供DeviceNet™,PROFIBUS DP,Modbus,EtherCAT®,PROFINET或FLOW-BUS協(xié)議。EL-FLOW®Prestige設(shè)計(jì)具有標(biāo)準(zhǔn)的多種氣體/多種量程功能,可為(OEM-)客戶提供que的靈活性和工藝效率。
F-201EV-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar HCL
F-201CV-500-PAD-88-E VCR1/4"0.008-0.4 2.5bar/1.5bar H2S
F-201CV-10K-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CO2
F-201CV-2K0-PAD-88-V VCR1/4"0.05-2.5 2.5bar/1.5bar CO
F-201CV-5K0-PAD-88-V VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CH4
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5bar N2
F-201AV-70K-PAD-88-V VCR1/4"1.5-75 2.5bar/1.5bar H2
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5barH2
F-201CV-20K-PAD-88-V VCR1/4"0.4-20 2.5bar/1.5bar H2
M14+C2I VCR1/4" 20℃ 20-1000g/h 1.5bar/0.9bar TiCl4液體
M13+C2I VCR1/4" 20℃ 2-100g/h 1.5bar/0.9bar CH3CN液體